這是一個高級的課程，它展示了SYNOPSYS™中的一些不尋常的功能。本課程將介紹前面討論的一些功能，并添加一些功能強(qiáng)大的新選項。在這里，我們將使用BTOL來計算八片式透鏡的公差，然后查看通過校驗(yàn)單元格中的元件來補(bǔ)償楔形誤差的情況下的像質(zhì)統(tǒng)計。最后，我們將在重新對焦鏡頭和校驗(yàn)元件之后，檢查一組100個鏡頭的橫向色差的統(tǒng)計數(shù)據(jù)，這些鏡頭受公差限制。
這是一個MACro，它將創(chuàng)建公差預(yù)算：
FETCH X33 ! 拿出開始的鏡頭
BTOL 90 ! 要求達(dá)到90%的置信度
TPR ALL ! 所有的表面都與試驗(yàn)板相匹配。.
EXACT ALL INDEX ! 假設(shè)收到所有熔體數(shù)據(jù)。
EXACT ALL VNO ! 所以指數(shù)和色散的公差為零.
TOL WAF .18 .32 .18 ! 要求在三個視場點(diǎn)上的這個波前方差.
FOCUS REAL ! 聚焦軸上圖像點(diǎn)
ADJUST 14 TH 100 ! 厚度為14（最后一個空域）的情況下.
PREP MC ! 準(zhǔn)備好蒙特卡洛評估的輸入數(shù)據(jù).
GO ! 開始BTOL.
在SYNOPSYS™中打開名為X33.RLE的文件，我們使用FETCH命令將其取出。運(yùn)行此MACro時，BTOL公差已準(zhǔn)備好并列在探測器上。現(xiàn)在我們需要使用MC。 調(diào)整MACro由BTOL準(zhǔn)備，命名為MCFILE.MAC。讓我們看看它包含什么。 我們輸入LM MCFILE來加載MACro：
PANT
VY 14 TH
END
AANT
M 0.000000E+00 0.3333 A 2 XC 0.000 0 .1 0.000
M 0.297888E-05 0.3333 SR A 2 YC 0.000 0 .1 0.000
M 0.000000E+00 0.3333 A 2 XC 0.000 0 -.1 0.000
M -0.297888E-05 0.3333 SR A 2 YC 0.000 0 -.1 0.000
M 0.297888E-05 0.3333 A 2 XC 0.000 .1 0 0.000
M 0.000000E+00 0.3333 SR A 2 YC 0.000 .1 0 0.000
M -0.297888E-05 0.3333 A 2 XC 0.000 -.1 0 0.000
M 0.000000E+00 0.3333 SR A 2 YC 0.000 -.1 0 0.000
M -0.177179E-02 0.3333 A 2 XC 0.000 -.64 .64 0.000
M 0.177179E-02 0.3333 SR A 2 YC 0.000 -.64 .64 0.000
M 0.177179E-02 0.3333 A 2 XC 0.000 .64 .64 0.000
M 0.177179E-02 0.3333 SR A 2 YC 0.000 .64 .64 0.000
M 0.177179E-02 0.3333 A 2 XC 0.000 .64 -.64 0.000
M -0.177179E-02 0.3333 SR A 2 YC 0.000 .64 -.64 0.000
M -0.177179E-02 0.3333 A 2 XC 0.000 -.64 -.64 0.000
M -0.177179E-02 0.3333 SR A 2 YC 0.000 -.64 -.64 0.000
M 0.000000E+00 0.6667 A 3 XC 0.000 0 0. 0.000
M 0.000000E+00 0.6667 A 3 YC 0.000 0 0. 0.000
M 0.000000E+00 0.6667 A 3 XC 0.000 0 .1 0.000
M 0.149917E-03 0.6667 A 3 YC 0.000 0 .1 0.000
M 0.000000E+00 0.6667 A 3 XC 0.000 0 -.1 0.000
M -0.149917E-03 0.6667 A 3 YC 0.000 0 -.1 0.000
M 0.149917E-03 0.6667 A 3 XC 0.000 .1 0. 0.000
M 0.000000E+00 0.6667 A 3 YC 0.000 .1 0. 0.000
M -0.149917E-03 0.6667 A 3 XC 0.000 -.1 0 0.000
M 0.000000E+00 0.6667 A 3 YC 0.000 -.1 0 0.000
END
SYNOPSYS 10
MC
根據(jù)要求，PANT文件中的最后一個空氣間隔是變化的，并且AANT文件定義了一個評價函數(shù)，如果調(diào)整能夠恢復(fù)名義設(shè)計完全相同的光線模式，它將精確地收斂到零。現(xiàn)在我們需要準(zhǔn)備我們的MC MACro。（這是我們指定所需蒙特卡羅分析的文件，而上面顯示的文件MCFILE.MAC指定了我們想要在每個案例上運(yùn)行的調(diào)整。它們是單獨(dú)的文件。）
首先，我們將使用隨機(jī)楔形方向運(yùn)行MC。這是MACro：
MC ITEMIZE
SAMP 1
LIB 5
!QUIET ! 這一點(diǎn)被注釋掉了，用于測試
WORST ALL 5
WEDGES CLOCK
TEST
GO
在這里，我們不優(yōu)化任何東西，只是準(zhǔn)備一個單一的擾動示例，以便我們可以檢查它。（元件現(xiàn)在都有楔形誤差，因此PAD顯示不能像以前那樣為元件著色。）
好吧，讓我們運(yùn)行一組100個鏡頭并查看統(tǒng)計數(shù)據(jù)。首先我們GET 5，然后注釋掉TEST指令并更改樣本編號。
MC ITEMIZE
SAMPLES 100 ! 要求提供一套100片的鏡片.
LIBRARY 5
QUIET
WORST ALL 1
THSTAT UNIFORM
WEDGES RANDOM
!TEST
GO
當(dāng)MC完成時，我們將獲得MC PLOT的統(tǒng)計圖
我們繼續(xù)操作，更改我們的MACro如下：
MC ITEMIZE
SAMPLES 100
LIBRARY 5
QUIET
WORST ALL 1
THSTAT UNIFORM
WEDGES CLOCK ! 每種情況下的楔形誤差時鐘.
TEST ! 再次做一個單一的測試案例.
GO
現(xiàn)在，程序?qū)⑹褂肎ROUP而不是RELATIVE傾斜，使用不同的協(xié)議對元件傾斜進(jìn)行建模。這釋放了每個元件上的gamma傾斜，用于引起楔形誤差。我們要測試一個例子，以便我們可以檢查錯誤是如何定義的。執(zhí)行此操作后，我們會查看擾動鏡頭的ASY列表：
從該列表中我們看到表面1,5,7,9和12已經(jīng)被分配了組傾斜。除了表面1上的gamma傾斜之外，我們將改變所有這些，這提供了參考方向。好的，我們需要修改我們的文件MCFILE.MAC，添加gamma傾斜變量。我們也選擇在進(jìn)行更復(fù)雜的優(yōu)化時進(jìn)行。然后我們保存新的MACro，以便MC能夠打開它并查看更改。它看起來像這樣：
PANT
VY 14 TH 10000 .01
VY 5 GPG
VY 7 GPG
VY 9 GPG
VY 12 GPG
END
AANT
M 0 1 A P YA
M 0 1 A P XA
GSR .5 10 5 M 0 0 0 F
GNR .5 2 3 M .7 0 0 F
GNR .5 1 3 M 1 0 0 F
GNR .5 2 3 M -.7 0 0 F
GNR .5 1 3 M -1 0 0 F
END
SYNOPSYS 10
MC
當(dāng)我們運(yùn)行它時，我們得到改進(jìn)的統(tǒng)計數(shù)據(jù),在命令窗口輸入MC PLOT
該課程幾乎已經(jīng)完成 - 但是假設(shè)這個鏡頭必須用于能很好地控制橫向色差的設(shè)備中。我們想知道每種情況優(yōu)化后產(chǎn)生的像差的統(tǒng)計數(shù)據(jù)。我們在文件MCFILE.MAC中添加了一些AI輸入，現(xiàn)在讀取如下： PANT
VY 14 TH
VY 5 GPG
VY 7 GPG
VY 9 GPG
VY 12 GPG
END
AANT
M 0 1 A P YA
M 0 1 A P XA
GSR .5 10 5 M 0 0 0 F
GNR .5 2 3 M .7 0 0 F
GNR .5 1 3 M 1 0 0 F
GNR .5 2 3 M -.7 0 0 F
GNR .5 1 3 M -1 0 0 F
END
SYNOPSYS 10
Z1 = XA IN COLOR 1 ! 獲取元件1的主光線的實(shí)際X坐標(biāo).
RMS 1 0 555 ! 運(yùn)行RMS命令，它也能找到中心點(diǎn).
Z2 = FILE 4 ! 這是X中心點(diǎn)的位置，相對于主光線而言,
Z3 = FILE 5 ! 這是Y中心點(diǎn)的位置，相對于主光線而言.
Z4 = YA IN COLOR 1 ! 同時得到實(shí)際的Y坐標(biāo).
Z5 = XA IN COLOR 3 ! 在元件3中做同樣的事情.
RMS 3 0 555
Z6 = FILE 4
Z7 = FILE 5
Z8 = YA IN COLOR 3
= SQRT((Z1 + Z2 - Z5 - Z6)**2 + (Z3 + Z4 - Z7 - Z8)**2) ! 分離.
Z9 = FILE 1 ! 將其加載到變量Z9中，并告訴MC
MC IZ9 "RedCen-BlueCen" ! 收集統(tǒng)計資料，并繪制帶有此標(biāo)簽的Z.
MC
現(xiàn)在，當(dāng)我們運(yùn)行MACro時，MC將橫向色差的統(tǒng)計數(shù)據(jù)添加到第二個繪圖頁面，該頁面還顯示調(diào)整統(tǒng)計數(shù)據(jù)。
這是一個高級的課程，它展示了SYNOPSYS™中的一些不尋常的功能。
