隨著超精密加工技術的不斷進步，各種微納結構元件廣泛應用于超材料、微電子、航空航天、環(huán)境能源、生物技術等領域。其中超精密3D顯微測量技術是提升微納制造技術發(fā)展水平的關鍵，中圖儀器自主研發(fā)的白光干涉掃描和共聚焦3D顯微形貌檢測技術，廣泛應用于涉足超精密加工領域的三維形貌檢測與表面質量檢測方案。其中，VT6000系列共聚焦顯微鏡，在結構復雜且反射率低的表面3D微觀形貌重構與檢測方面具有不俗的表現。 
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一、結構深、角度大 ;Yt'$D*CP  
電子產品中一些光學薄膜表面存在一些特殊的微結構，這些結構表現為窄而深的“V形”、“金字塔”。白光干涉儀在測量此類結構時，由于形貌陡峭、角度大，無法形成干涉條紋信號，或條紋寬度過窄而無法準確地解調出深度信息。VT6000系列共聚焦顯微鏡基于針孔點光源的共軛共焦原理，其依托弱光信號解析算法可以完整重建出近70°陡峭的復雜的結構形狀。 T'5MO\  
二、反射差、信號弱 Xk 伊金霍洛旗| 汉寿县| 石河子市| 屯门区| 兴安县| 武强县| 密山市| 鄄城县| 乌拉特中旗| 建宁县| 绩溪县| 巢湖市| 武定县| 柞水县| 泽州县| 铅山县| 马山县| 平舆县| 瑞昌市| 招远市| 迁西县| 双峰县| 黄冈市| 太仓市| 虞城县| 永年县| 潼关县| 酉阳| 静乐县| 永州市| 晋城| 门源| 江油市| 谷城县| 原阳县| 枣强县| 从江县| 鄢陵县| 永昌县| 丁青县| 广州市|