[求助]透過率高低不一致的問題 [復(fù)制鏈接]

只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2023-08-10

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最佳答案：20 光幣，熱心助人剩余點數(shù): 1 光幣。

在8寸的硅晶圓上做一個中遠紅外長波通，平面行星盤，用Te和ZnS兩種材料，都用阻蒸蒸發(fā)，不用離子源輔助鍍膜，為什么同一片測出來透過率高低差異會這么大，而且每次透過率高低分布的規(guī)律都不一樣

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離線ouyuu

只看該作者 1樓發(fā)表于: 2023-08-13

阻蒸的速率不穩(wěn)定吧？用晶控控制的速率還是直接電流控制？


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