一、
鍍膜技術(shù)可區(qū)分為哪幾類?
f+6l0@K2 可區(qū)分為:(1)真空蒸鍍 (2)電鍍 (3)化學(xué)反應(yīng) (4)熱處理 (5)物理或機械處理
Ae#6=]V+^ 二、蒸鍍的加熱方式包括哪幾種?各具有何特點?
hF~B&^dd. 加熱方式分為:
f3>/6C (1)電阻加熱 (2)感應(yīng)加熱 (3)電子束加熱 (4)雷射加熱 (5)電弧加熱
$VA4% 9 J]0#M:w& 各具有的特點:
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9FX (1)電阻加熱:這是一種最簡單的加熱方法,設(shè)備便宜、操作容易是其優(yōu)點。
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^sKXn:) (2)感應(yīng)加熱:加熱效率佳,升溫快速,并可加熱大容量。
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Nbe= (3)電子束加熱:這種加熱方法是把數(shù)千eV之高能量電子,經(jīng)磁場聚焦,直接撞擊蒸發(fā)物加熱,溫度可以高達30000C。而它的電子的來源有二:高溫金屬產(chǎn)生的熱電子,另一種電子的來源為中空陰極放電。
'dzp@-\ 6`C27 (4)雷射加熱:
激光束可經(jīng)由
光學(xué)聚焦在蒸鍍源上,產(chǎn)生局部瞬間高溫使其逃離。最早使用的是脈沖紅寶雷射,而后發(fā)展出紫外線準分子雷射。紫外線的優(yōu)點是每一
光子的能量遠比紅外線高,因此準分子雷射的功率密度甚高,用以加熱蒸鍍的功能和電子束類似。常被用來披覆成份復(fù)雜的化合物,鍍膜的品質(zhì)甚佳.它和電子束加熱或濺射的過程有基本上的差異,準分子雷射脫離的是微細的顆粒,后者則是以分子形式脫離。
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U6i D$cMPFa2Nt (5)電弧加熱:
t}7wRTG 陰極電弧沉積的優(yōu)點為:
rieQ&Jt" (1)蒸鍍速率快,可達每秒1.0微米
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R&` (2)基板不須加熱
>I?Mi{'a (3)可鍍高溫金屬及陶瓷化合物
+joE (4)鍍膜密高且附著力佳
[q&J"dt 8j}m\^si 三、真空蒸鍍可應(yīng)用在哪些產(chǎn)業(yè)?
([Aq 主要產(chǎn)業(yè)大多應(yīng)用于裝飾、光學(xué)、電性、機械及防蝕方面等,現(xiàn)就比較常見者分述如下:
2YKM9Ks 1.鏡片的抗反射鍍膜(MgO、MgF2、SiO2等),鏡片置于半球支頂,一次可鍍上百片以上。
)US/bC!M$ 2.金屬、合金或化合物鍍膜,應(yīng)用于微電子當導(dǎo)線、電阻、光電功能等用途。
C=IH#E= 3.鍍鋁或鉭于絕緣物當電容之電極。
}gW/heUE 4.特殊合金鍍膜MCrAlY具有耐熱性抗氧化性,耐溫達1100OC,可應(yīng)用須耐高溫環(huán)境的工件,如高速切削及成形加工、渦輪引擎葉片等。
d_+8=nh3 5.鍍金屬于玻璃板供建筑物之裝飾及防紫外線。
;ZJ,l)BNO 6.離子蒸鍍鍍鋁,系以負高電壓加在被鍍件上,再把鋁加熱蒸發(fā),其蒸氣經(jīng)由電子撞擊離子化,然后鍍到鋼板上。
kPH^X}O$ 7.鍍鋁于膠膜,可供裝飾或標簽,且鍍膜具有金屬感等。最大的用途就是包裝,可以防潮、防空氣等的滲入。
tZ^;{sM 8.機械零件或刀磨具鍍硬膜(TiC、TiN、Al2O3)這些超硬
薄膜不但硬度高,可有效提高耐磨性,而且所需厚度剪小,能符合工件高精度化的要求。
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WV 9.特殊合金薄片之制造。
3kCbD=yF 10.鍍多層膜于鋼板,改善其性能。
>~rd5xlk 11.鍍硅于CdS太陽
電池,可增加其效率。
shT[|@"C 12.奈米粉末之制造,鍍于冷基板上,使其不附著。
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vb4uvY %j">&U.[ 四、TiN氮化鈦鍍膜具有哪些特點?
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