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[求助]SiC上鍍Si改性拋光后出現(xiàn)水波紋狀是什么原因？ [復(fù)制鏈接]

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離線wangshaoan

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2023-09-12

關(guān)鍵詞： SiC改性鍍膜水波紋

部分出現(xiàn)彩虹紋，最后拋光完像水霧一樣的水波紋。是不是鍍的Si膜不均勻啊？

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離線oyeah

技術(shù)員

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2023-09-14

鍍得均勻,拋光去除不均勻

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