摘要 ~X) 1!Sr  
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在激光掃描系統(tǒng)中，F-Theta鏡頭通常被設(shè)計用于提供高性能。使用此類透鏡，在目標(biāo)平面上的聚焦點位移與焦距和掃描角度的產(chǎn)生成正比。這使得它們成為基于Galvo掃描器的激光材料處理系統(tǒng)的標(biāo)準(zhǔn)鏡頭。在VirtualLab Fusion中掃描源的幫助下，通過測量實際光斑位置與期望值之間的偏差和不同角度下光斑的大小，分析了給定F-Theta透鏡的性能。 =\jPnov!  
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性能評估——光斑直徑測量 Bp=BRl  
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性能評估——光斑位置偏差  {0} Q5  
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走進(jìn)VirtualLab Fusion lJ4&kF=t  
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