光束質(zhì)量
p#9.lFSX 激光束的光束質(zhì)量是激光束特性的一個(gè)重要方面。它可以以不同的方式定義,但通常被理解為在特定條件下(例如有限的光束發(fā)散度)激光束可以聚焦得多緊的度量。量化光束質(zhì)量最常用的方法是:
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- 光束參數(shù)乘積(BPP),即束腰處的光束半徑與遠(yuǎn)場光束發(fā)散角的乘積。
- M2 因子,定義為光束參數(shù)乘積除以具有相同衍射極限的高斯光束的相應(yīng)乘積。
{CM%QMM BPP 或 M2 因子的低值意味著高光束質(zhì)量。
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高光束質(zhì)量意味著平滑的波面(例如,整個(gè)光束剖面具有很強(qiáng)的的相位相關(guān)性),這樣,用透鏡聚焦光束就能獲得波面為平面的焦點(diǎn)。擾亂的波面(見圖1)使光束聚焦更加困難,在給定光斑大小的情況下,光束發(fā)散會增大。
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00%,Ju_ 圖1:光束質(zhì)量較差的激光束。與理想的高斯光束相比,波陣面有些混亂,這使得光束更難緊密聚焦。
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Vj7(6'Hg 在衍射受限的高斯光束中,M2 可以獲得最高的光束質(zhì)量,其 M2 = 1。許多
激光器都能接近這個(gè)值,特別是在單橫向模式下運(yùn)行的的固態(tài)體激光器(→單模工作)和基于單模
光纖的光纖激光器,還有一些低功率激光二極管(特別是 VCSELs)。
+)C?v&N ;O*y$|+PA 另一方面,特別是一些大功率激光器(如固態(tài)體激光器和
半導(dǎo)體激光器,如二極管激光器)的 M2 非常大,可以超過100或者甚至遠(yuǎn)高于1000。在固態(tài)激光器中,這通常是由于增益介質(zhì)中熱引起的波面畸變和/或激光晶體中的有效模式面積和泵浦面積不匹配的結(jié)果,而在高功率半導(dǎo)體激光器中,光束質(zhì)量差的原因則是使用了高度多模波導(dǎo)。在這兩種情況下,光束質(zhì)量不佳都與高階諧振器模式的激發(fā)有關(guān)。
&wbe^Wp ;&Q8xC2 在衍射受限光束的焦點(diǎn)(束腰)(即光束半徑達(dá)到其最小值的位置),光波面是平坦的。波面的任何擾動,例如,由于質(zhì)量差的
光學(xué)元件、透鏡的球面像差、增益介質(zhì)中的熱效應(yīng)、孔徑的衍射或寄生反射,都會影響波面的質(zhì)量。對于單色光束,原則上可以通過相位掩膜等方法來恢復(fù)光束質(zhì)量,但在實(shí)際應(yīng)用中通常很難做到,即使在畸變是穩(wěn)定的情況下也是如此。一種更靈活的方法是使用自適應(yīng)光學(xué)與波前
傳感器結(jié)合使用。
)&"l3*x h2 2-vX 使用非共振模式清潔器或模式清潔器腔可以在一定程度上改善激光光束的光束質(zhì)量。然而,但是,這會導(dǎo)致光功率的損失。
xF'9`y^]!@ FnN@W^/z 激光器的亮度,或者更準(zhǔn)確地說,其輻射度,是由其輸出功率和光束質(zhì)量共同決定的。
N#-P}\Q9 fLj#+h-! 注意,“光束質(zhì)量”一詞有時(shí)具有定性含義,與上文討論的聚焦性關(guān)系不大。在某些應(yīng)用中,獲得如高斯形狀的平滑的光束強(qiáng)度曲線是至關(guān)重要的,而光束發(fā)散則無關(guān)緊要。因此,激光光束的“質(zhì)量”可能無法用例如下面討論的 M2 來表征:一束光束可能具有相對小的 M2 值,但光束形狀多峰,而另一種光束可能具有平滑的光束形狀,但發(fā)散度較高,因此 M2 值較大。
N4$!V}pp Iz/o|o]# 一些激光應(yīng)用,例如光刻,需要對大面積區(qū)域進(jìn)行均勻
照明。在這種情況下,“光束質(zhì)量”可能與本文討論的聚焦性無關(guān)。因此,人們甚至可能更喜歡空間和時(shí)間相干性較低的光束。
#{)=%5=c _L mDF8Q( 光束質(zhì)量的測量
/ c1=`OJ 根據(jù) ISO 標(biāo)準(zhǔn)11146,光束質(zhì)量因子 M2 可通過擬合程序計(jì)算,擬合程序適用于測量到的光束半徑沿傳播軌跡的演變(所謂的焦散線,見圖2)。為了獲得正確的結(jié)果,必須遵守許多規(guī)則,例如,光束半徑的精確定義和數(shù)據(jù)點(diǎn)的放置。
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