[討論]RF源暖機(jī)時(shí)間問(wèn)題請(qǐng)教 [復(fù)制鏈接]

離線xzaxd

只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2023-10-24

請(qǐng)教各位大佬：
1、RF源最少暖機(jī)時(shí)間設(shè)置多少合適？source和beam
2、暖機(jī)時(shí)間少了或者不暖機(jī)，會(huì)不會(huì)直接導(dǎo)致離子源容易滅弧，影響機(jī)理是什么？

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2023-10-24

一般不是兩分鐘嗎？容易滅弧是因?yàn)榕K，沒(méi)保養(yǎng)到位罷了。


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