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[討論]RF源暖機時間問題請教 [復制鏈接]

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離線xzaxd

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2023-10-24

請教各位大佬：
1、RF源最少暖機時間設置多少合適？source和beam
2、暖機時間少了或者不暖機，會不會直接導致離子源容易滅弧，影響機理是什么？

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離線大劍宿意琦行

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2023-10-24

一般不是兩分鐘嗎？容易滅弧是因為臟，沒保養(yǎng)到位罷了。

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