激光干涉儀是一種利用激光干涉
原理進(jìn)行測量的精密
儀器。廣泛應(yīng)用于
光學(xué)、機械、
電子等各種領(lǐng)域的測量。其中,平行度和垂直度的測量是激光干涉儀的重要應(yīng)用之一。
I4Do$&9<D r=j?0k '}] 傳統(tǒng)的測量方法通常采用機械測量或光學(xué)測量,但這些方法存在著
精度低、誤差大、易受環(huán)境影響等缺點。而激光干涉儀具有高精度、高靈敏度、非接觸性等優(yōu)點,能夠?qū)崿F(xiàn)平行度和垂直度的高精度測量。
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