摘要
~;Ga65_6_ P`'Nv 高
數(shù)值孔徑物鏡廣泛用于
光學(xué)光刻、
顯微鏡等。因此,在
聚焦模擬中考慮光的矢量性質(zhì)是非常重要的。 VirtualLab非常容易支持這種
鏡頭的
光線和光場追跡分析。 通過光場追跡,可以清楚地展示不對稱焦斑,這源于矢量效應(yīng)。 照
相機探測器和電磁場探測器為聚焦區(qū)域的研究提供了充分的靈活性,并且可以深入了解矢量效應(yīng)。
Oj#nF@U =kq!e
%Dg]n4f djeax 建模任務(wù)
54kd>)|"ag UW+|1Bj_:
$=f,z>j =N,Mmz% 入射平面波
Q:\I
%o 波長 2.08 nm
8X`Gm!) 光斑直徑: 3mm
I=VPw5"E 沿x方向線偏振
<_@ S@t) (]Z%&>* 如何進行整個
系統(tǒng)的光線追跡分析?
f i-E_ 如何計算包含矢量效應(yīng)的焦點的強度分布?
Be{7Rj v Oo<^~d2= 概覽
.~0A*a •樣品系統(tǒng)預(yù)設(shè)為包含高數(shù)值孔徑物鏡。
3F ;+D
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