課程四十八：從
初始結(jié)構(gòu)開(kāi)始設(shè)計(jì)的微
光刻透鏡 M^Ay,jK! 你現(xiàn)在使用的電腦有一個(gè)中央處理器，它的晶圓片是用一個(gè)非常復(fù)雜的
鏡頭曝光加工而來(lái)的。這類(lèi)鏡頭可能含有20或30個(gè)以上的鏡片組成，是世界上最精細(xì)的鏡頭。如果你想更好的學(xué)習(xí)
光學(xué)設(shè)計(jì)，這將是一個(gè)好的學(xué)習(xí)例子。
d!z).G 本課將給出一個(gè)學(xué)習(xí)例子:
@P5@ &G 1. 鏡片數(shù)22片
7(USp #" 2. 物高31mm
)I-?zyL 3. 物方數(shù)值孔徑NA 0.2
I
3,e)Z 4.
波長(zhǎng)為UV
)qP{X,Uf 5. 像方晶圓尺寸是12.66mm
B';> Hk 6. 總長(zhǎng)小于1200mm
\C2P{q/m eh7r'DmAR 這種透鏡在物方和像方上都是有限共軛的，最好分兩步設(shè)計(jì)。首先，我們將為左半部分設(shè)計(jì)一個(gè)鏡片組，可以讓
光束經(jīng)過(guò)遮光罩，光束到中心后被準(zhǔn)直。然后我們將為右半部分設(shè)計(jì)第二個(gè)鏡片組，將準(zhǔn)直光束
成像到晶圓片上。
.,K?\WZ !#gE'(J;c 首先，我們將使用 DSEARCH 為左半部分設(shè)計(jì)出11個(gè)鏡片的鏡頭，輸入的命令如下：
QZa#i L 下面是對(duì) DSEARCH 的輸入：
wOkJ:k 【評(píng)論留言添加工作人員，領(lǐng)取文章中運(yùn)行宏文件】 [W;dguh Jas|P}{=fT 返回一個(gè)非常好的初始結(jié)構(gòu)，我們將它保存。使用命令為：SAVE LEFT11.
z,x"vK( Rf0\CEc 現(xiàn)在激活 ACON 2，我們使用 DSEARCH 來(lái)設(shè)計(jì)右半邊的鏡片組，輸入命令如下：
#5:A?aj 【評(píng)論留言添加工作人員，領(lǐng)取文章中運(yùn)行宏文件】 X*yp=qI %oKqK >S) 結(jié)果很好，我們保存了這個(gè)鏡頭，使用命令：SAVE RIGHT11.
}
9s 
a`X&;jH0ef 現(xiàn)在把這兩部分合并起來(lái)。再次激活 ACON 1，并輸入：
^PR ,TR. COMBINE 23
BW-P%:B1!R RIGHT11.現(xiàn)在它們被合并成了一個(gè)鏡頭。
G$`4.,g 現(xiàn)在打開(kāi)由 DSEARCH 為右半部分鏡片組準(zhǔn)備的
優(yōu)化宏，修改 TOTL的設(shè)置，指定1200mm長(zhǎng)度的上限(LLL 1200 .01 1 A TOTL)。還為后焦添加一個(gè)控制目標(biāo)，現(xiàn)在由 solve 控制。(M 11 .1 A BACK)。然后運(yùn)行宏并
模擬退火(33,2,50)。鏡頭得到了改進(jìn)。
