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1.目前難題,膜層牢固度不夠,膜裂嚴(yán)重
k_.j%
2.目前
鍍膜
工藝
[{Klv&>_/
設(shè)備
:光馳1550
xq#]n^
鍍膜前60度恒溫40分鐘
g]TI8&tP!L
第一層不使用離子源清潔、同時(shí)第一層不使用離子源輔助
t}* qs
TI3O5打底厚度200nm
)Uoe~\
功能層:石英環(huán)/TI3O5交替鍍膜
9h)P8B.>M
功能層使用離子源輔助鍍膜
yD=)&->Ra
離子源工藝能量為:500V/500mA
)G
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