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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2007-04-09

壓力傳感器的重要傳感元件是法布利-比洛特(FP)型光學(xué)干涉儀。干涉儀的兩面鏡子分別是位于一端的薄膜內(nèi)表面和位于另一端的光纖尖端。所施加的壓力P 引起了薄膜的偏移，而此偏移又直接轉(zhuǎn)換成了FP 干涉儀空腔長度的變化。

為得到薄膜偏移和所施加的壓力間的線性關(guān)系，傳感器的形狀和材料都經(jīng)嚴格選擇。其系可表示為：

Lcav(P) = L0 + (P-P0S)…………………………(1)

其中P是施加到薄膜外表面上的壓力(單位psi)
P0是FP空腔內(nèi)的壓力(單位psi)
Lcav是由信號解調(diào)器所測得的空腔長度(單位nm)


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