摘要 qsQ{`E0  
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對于如背光、光學(xué)連接器和近眼顯示等許多應(yīng)用來說，光如何高效地耦合到波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中是一個重要問題。對于這些應(yīng)用，眾所周知傾斜光柵可以高效率地耦合單色光。這個例子展示了使用嚴格的傅立葉模態(tài)法（FMM，也稱為RCWA）對傾斜光柵進行優(yōu)化。對于預(yù)定義方向的級次，優(yōu)化得到的光柵的衍射效率超過90％。此外，還研究了斜率偏差和光柵圓角的影響。 %z=:P{0U
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1階的參數(shù)優(yōu)化 lrj&60R`w  
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結(jié)果-容差分析 S~)`{ \  
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在VirtualLab Fusion中查看 g?Tev^D  
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VirtualLab Fusion的工作流程 >KL=(3:":p  
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•構(gòu)造光柵結(jié)構(gòu) \Oq8kJ=  
- 使用特殊介質(zhì)配置光柵結(jié)構(gòu)[用例] q/@+.q  
- 傾斜光柵的高級配置[用例] -fXQ62:S  
•分析光柵衍射效率 x"g)pGsT  
- 光柵級次分析器[用例] "T{WOGU+  
•使用參數(shù)優(yōu)化優(yōu)化光柵參數(shù) ^C1LQZ  
•使用參數(shù)運行進行容差分析 ti (Hx  
- 參數(shù)運行文檔的用法[用例] f;Oh"Yt  
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VirtualLab Fusion技術(shù) #>("(euXMF  
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