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[求助]鍍膜后環(huán)測雙85實驗，外觀有水漬點無法去除，什么原因？ [復制鏈接]

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離線chenliang1990

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2024-06-24

鍍膜設(shè)備，光馳OTFC，工藝條件：Ta2O5+SIO2, 溫度：320℃，射頻源

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離線ouyuu

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2024-07-15

兩個可能。1，離子源的中和電流不夠，導致膜內(nèi)有電荷積聚，調(diào)大中和電流試試。