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    [討論]離子源充氧與充氬有何分別? [復(fù)制鏈接]

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    離線wangxingyu
     
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    只看樓主 正序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2007-04-15
    離子源充氧與充氬有何分別?
     
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    離線renlgj
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    只看該作者 22樓 發(fā)表于: 2024-08-22
    啟動真空不能太低
    離線gaofei555
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    只看該作者 21樓 發(fā)表于: 2024-07-04
    學(xué)習(xí)了... u3wL<$2[8  
    離線李某
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    只看該作者 20樓 發(fā)表于: 2023-12-17
    受教了 "3t\em!  
    離線yedewang
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    只看該作者 19樓 發(fā)表于: 2018-05-08
    非常有用
    離線dcfcwdx
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    只看該作者 18樓 發(fā)表于: 2018-03-03
    受教了
    離線pyykun
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    只看該作者 17樓 發(fā)表于: 2018-02-27
    謝謝大神們!!!
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    只看該作者 16樓 發(fā)表于: 2017-08-09
    回 a060103112 的帖子
    a060103112:氟化鎂一般不用離子源,只有偶爾冷鍍用,就只加少量氬氣 (2013-02-27 11:32)  Mf#2.TR  
    @<VG8{  
    原來是這樣呀
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    只看該作者 15樓 發(fā)表于: 2017-08-09
    回 j123456789 的帖子
    j123456789:離子源充氧后會產(chǎn)生氧原子和氧離子,它們具有極其強(qiáng)的活性,作為氧化物膜沉積時的輔助,不僅能提高膜層的密度,還能改善其吸收!但,其會降低離子源的壽命!!充氬僅能提高膜層的密度,同時離子源的壽命會相對長! (2007-04-15 15:49)  ftDVxKDE?S  
    GZ; Z  
    好有用
    離線a060103112
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    只看該作者 14樓 發(fā)表于: 2013-02-27
    回 jiayuch 的帖子
    jiayuch:如果鍍得是氟化鎂  就用氬氣嗎 (2007-04-22 16:21)  ?STI8AdO  
    fSgGQ D4  
    氟化鎂一般不用離子源,只有偶爾冷鍍用,就只加少量氬氣
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