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[技術(shù)]GLAD：光刻成像系統(tǒng)的建模 [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2024-08-12

概述
該系統(tǒng)由一個(gè)聚光鏡、一個(gè)傾斜球體和一個(gè)Schwartzchild設(shè)計(jì)的中繼鏡組成。光源被成像到中繼鏡的光瞳中。光束在物體掩模處會(huì)聚，在中繼透鏡的光瞳處形成點(diǎn)像。在中繼透鏡的瞳孔處，多條條紋圖案將形成一個(gè)中心波瓣和側(cè)波瓣。如下圖所示：

 掩模上的條形圖案在中繼瞳孔中產(chǎn)生旁瓣
 窄條產(chǎn)生寬的旁瓣，僅部分通過中繼入口瞳孔
 寬條產(chǎn)生較窄的旁瓣，更容易通過中繼入口瞳孔


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