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摘要 GadY#]}( >#mKM%T2MJ |SMigSu r` 因?yàn)閮A斜光柵在特定衍射級中具有高效率,故通常被用于將光耦合到光學(xué)光波導(dǎo)中。 如今,它們經(jīng)常應(yīng)用于增強(qiáng)和混合現(xiàn)實(shí)應(yīng)用中。 本案將展示如何使用VirtualLab Fusion對文獻(xiàn)中的某些傾斜光柵的幾何形狀,具體參數(shù)如傾斜角度,填充因子和調(diào)制深度進(jìn)行分析。 此外,本案例還研究了不同入射角對衍射效率的影響。 &e).l<B hF^JSCDz l 建模任務(wù) LR#.xFQ+ <T.R%Jys 衍射效率與相對深度 9dszn^]T m^ar:mK@ #LR6wEk 在VirtualLab Fusion中通過傅里葉模態(tài)法(FMM)(也稱為RCWA)進(jìn)行仿真。 KdHkX+-R hTby:$aCg UBQtD|m\ Z(4/;v <CT 參考文獻(xiàn):J. Michael Miller, Nicole de Beaucoudrey, Pierre Chavel, Jari Turunen, and Edmond p\'X%R Cambril, "Design and fabrication of binary slanted surface-relief gratings for a planar optical interconnection," Appl. Opt. 36, 5717-5727 (1997) GpXf).a@ a>8]+@ 衍射效率與傾斜角度
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