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摘要 c[ RkiV3 0z1UF{{ 通常，計(jì)算模型中假設(shè)的理想化結(jié)果明顯偏離現(xiàn)實(shí)。 其中一個(gè)例子是在蝕刻結(jié)構(gòu)中具有尖銳邊界的微結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)：制造技術(shù)不能實(shí)現(xiàn)完美的銳利壁，而是產(chǎn)生更圓的邊緣。 該可編程模塊應(yīng)用于所設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)的銳利結(jié)果，根據(jù)用戶指定的值對(duì)其邊緣進(jìn)行圓整，以便分析更真實(shí)的結(jié)構(gòu)。 C. rLog# =i:6&Y~VGq  ;\[ el<Y)s U 6M3,"? 用于平滑結(jié)構(gòu)邊緣的可編程模塊 U#{^29ik=o ~:M"JNcs '4J];Nj0 提示：模塊的輸入與輸出是“DataArray（數(shù)據(jù)數(shù)組）”類型。您可通過查看附帶的樣本文件得到全部 G<f "_NT
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