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    [求助]第一層速率問題 [復(fù)制鏈接]

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    離線renlgj
     
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    只看樓主 正序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2024-08-26
    關(guān)鍵詞: 鍍膜速率
    各位老師好,我家的鍍膜機(jī)鍍第一層時(shí)速度時(shí)-10多開始的,請(qǐng)問是什么原因?
     
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    離線yang6563017
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 2024-09-22
    晶控的機(jī)臺(tái)基本上都有這種問題,如果有離子源就設(shè)定離子源檔板與電子槍檔板兩個(gè)打開時(shí)間不同時(shí)就可以有效改善,但沒辦法徹底根除。
    離線morningtech
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 2024-09-19
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:一般是溫度造成的,如果有離子源,離子源擋板先開30秒;如果只是電子槍,那么開擋板后3S清零一次會(huì)比較好。 (2024-08-28 22:26)  j"|=C$Kn/  
    D*F4it.  
    膜林晶控儀內(nèi)部有開擋板后,15秒(時(shí)間可設(shè),在材料參數(shù)最后1頁,如果是計(jì)算機(jī)控制,則參考材料1) 內(nèi)出現(xiàn)的負(fù)厚度自動(dòng)丟棄功能,無需外部清零。 - qy6Un+  
    《探頭與接口》界面可以看到,最近一次 自動(dòng)丟棄的負(fù)厚度累計(jì)值,很有意思的。 B&.FO O  
    其實(shí)幾乎每一層開始前都會(huì)有這一現(xiàn)象的。而不僅僅是第一層。
    離線renlgj
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 2024-09-15
    謝謝1樓,
    離線ouyuu
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 2024-08-28
    一般是溫度造成的,如果有離子源,離子源擋板先開30秒;如果只是電子槍,那么開擋板后3S清零一次會(huì)比較好。
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