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[分享]TRCX應(yīng)用：顯示面板工藝裕量分析 [復(fù)制鏈接]

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制造顯示面板的主要挑戰(zhàn)之一是研究由工藝余量引起的主要因素，如CD余量，掩膜錯位和厚度變化。TRCX提供批量模擬和綜合結(jié)果，包括分布式計(jì)算環(huán)境中的寄生電容分析，以改善顯示器的電光特性并最大限度地減少缺陷。

（a）參照物

（b）膜層未對準(zhǔn)

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