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摘要 c`E0sgp )nM<qaI{ 復(fù)雜光學(xué)光柵結(jié)構(gòu)被廣泛用于多種應(yīng)用,如光譜儀、近眼顯示系統(tǒng)等。利用傅里葉模態(tài)法(FMM,或稱RCWA) VirtualLab Fusion 提供了一種用于任意光柵結(jié)構(gòu)嚴格分析的簡單方法。利用圖形用戶界面,用戶可以設(shè)置堆棧的幾何形狀,從而產(chǎn)生復(fù)雜的光柵結(jié)構(gòu)。本案例主要集中于具有二維周期光柵結(jié)構(gòu)的配置。 }gR!]Cs)^
hq|I%>y 1. 本案例主要說明: {IgLH`@ 如何在光柵工具箱中配置二維光柵結(jié)構(gòu),通過: +~[>Usf - 基于介質(zhì)的定義類型 [0M`uf/u - 基于表面的定義類型 92 oUQ EK 計算前如何改變高級選型并檢查定義的結(jié)構(gòu)。 Krw'|< 注意:在VirtualLab中,具有二維周期性的光柵結(jié)構(gòu)稱作3D光柵。因此,層狀光柵(一維光柵)被稱為2D光柵。 CAT{)*xc W_bp~Wu
2. 光柵工具箱初始化 FD[o94`% 初始化 ,%X"Caz - 開始→ Zb4+zps^- 光柵→ ]p-xds#d 一般光柵光路圖(3D光柵) >.o<}!FW iz-B)^8.
8W"Xdv{ 注意:對于特殊類型的光柵,如柱狀光柵,可以直接選擇特定的光路圖。 fG_<HJS(~ ^(+@uuBx 3. 光柵結(jié)構(gòu)配置 B{hV|2 首先,必須先定義基底的厚度與材料 3n3$?
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