摘要:這個(gè)案例分析了由衍射擴(kuò)散器元件實(shí)現(xiàn)的單色準(zhǔn)分子
激光光束的均勻化,最終生成一個(gè)圓形高帽。
lt08
E2p9 >n$V1U&/ 1.建模任務(wù) iOY: a 3MX&%_wUhB g?B4b7II 2.光源參數(shù) Cq8.^=}_ PtsQV!
_Ns/#Xe/ USd7gOq( \.ukZqB3
0 •
LED模型:Gaussian Type Planar Source(高斯型平面
光源)
.ni<' • 光源平面直徑:100μm×100μm
T,@s.v • 空間相干長度:3μm×3μm
gZq_BY_U • 相應(yīng)的發(fā)散角(HWHM):~0.89×0.89°
tE'^O<
K •
波長:351nm
R*0]*\C z jRiXN% 3. 衍射擴(kuò)散器透過率函數(shù) XM1;
>#kz EDAtC 56w uk
[) 一個(gè)衍射勻光元件,可以使用一個(gè)具有如下技術(shù)參數(shù)的衍射擴(kuò)散器透過率函數(shù)來模擬:
mHe[
NkY6 • Phase-Only元件
:3b.`s(M • 采樣距離:5μm
bT>MZK8b • 大小:640μm×640μm
GHNw.<`l? • 相位級:8
2$r8^}Nj? • 生成的目標(biāo)模式:圓形高帽
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4K
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)DB\du H^ 'As;R 4. 光源的輻射特性 d!{]CZ"@ :A7\eN5 MB7`'W
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