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該案例介紹了一個正弦光柵的仿真,該光柵表面具有隨機變化的粗糙度結構。此外,分析了對衍射級次的影響,特別是衍射效率。 xg;I::hE7X f`vu+nw 1. 建模任務 LX8A@Yct P _x(`H
UbDpSfub 一個正弦光柵不同衍射級次的嚴格分析和優(yōu)化。 4Q17vCC*n 對于該仿真,采用傅里葉模態(tài)法。 X#Sgf|$ /UG]hJ-wn 2. 建模任務:正弦光柵 !)4'[5t"U =9!|%j x-z方向(截面視圖) /g)( XVfw0-O P
y!$r 光柵參數(shù): *8Kx y@ 周期:0.908um 7R7e3p,K 高度:1.15um y2M]z:Y U (這些參數(shù)提供了一個具有均勻分布傳輸效率0級和±1級衍射級次,詳見案例341) q@&6&cd Dq[Z0"8 3. 建模任務 1smKU9B2) .LI(2lP
q}|_]R_y jB"IJ$cD ^xX1G_{ VirtualLab光柵工具箱提供的光柵級次分析器,可對光柵衍射效率進行嚴格的計算。 3EV?=R I~F]e|Ehqr 利用該分析器,也可以分別計算出現(xiàn)的每個衍射級次的衍射效率。 eA_]%7+` Ws/\lD
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bzv 4. 光滑結構的分析 q:MSV{k -q30tO.
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