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本文主要講如何查看光學系統(tǒng)的衍射強度。在SYNOPSYS中查看光學系統(tǒng)的衍射強度通常會直接使用PSF,同時也會用到DIFF指令。 @$b7
eu 首先,我們打開鏡頭文件:‘SIMPLE_REFLECTOR.RLE’,在像質(zhì)分析功能中選擇PSF: /0L]Pf;
鏡頭文件 請聯(lián)系工作人員獲取 )x5w`N]lm
V(G{_>> 此刻可以看到相關(guān)的衍射強度圖。 wC1)\ld
<Rt0
V%}- 那么在SYNOPSYS上如何使用DIFF指令呢?它是在查看衍射鏡頭時經(jīng)常用到的一個指令,類似于一個點擴散函數(shù),例如,我們要檢查10以內(nèi)的艾里斑直徑,這時就會用到DIFF這個指令。我們打開鏡頭文件:‘SIMPLE_REFLECTOR.RLE’。 SM}&
@cJ
kaZcYuT.9 得到如上圖所示鏡頭結(jié)構(gòu)圖和鏡頭文件。然后重新創(chuàng)建一個宏文件并輸入DIFF指令, @C'qbO{ 保存為:‘SIMPLE_REFLECTOR.1.MAC’。 <95*z @
宏文件 請聯(lián)系工作人員獲取 |$T?P*pI. &WbHM)_n 2
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