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    [求助]AR膜中間脫膜 [復制鏈接]

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    離線飛奔的牛
     
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    只看樓主 正序閱讀 樓主  發(fā)表于: 01-22
    6層膜，GE/ZNS/  GE/ZNS/  GE/ZNS,膜層在ZNS之后鍍GE脫膜，晶圓經(jīng)過劃成小片，邊緣出現(xiàn)中間膜層脫膜。想求助一下是什么原因 Pn6~66a6  
    目前懷疑是ZNS+GE之間膜層結合力不好 pjs4FZ`Pd;  
     
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    離線ouyuu
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 02-20
    真空度，溫度，鍍膜速率都有關系的。另外你是用什么鍍的？阻蒸還是電子槍？
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