【技術(shù)深析】藍(lán)寶石高精密非古典法加工：如何實(shí)現(xiàn)亞微米級(jí)面型精度與效率突破？
發(fā)布：和宸晶體科技
2025-02-04 11:58
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~`a#h# 一、行業(yè)痛點(diǎn)：傳統(tǒng)加工法的桎梏 << ~lV5 > & 4 I.nA 藍(lán)寶石（α-Al₂O₃）因其超高硬度（莫氏9級(jí)）、抗熱沖擊性和光學(xué)透性，被廣泛用于激光窗口、紅外光學(xué)元件等領(lǐng)域。然而，傳統(tǒng)加工方法面臨兩大瓶頸： y81#UD9[ - Ej9/_0lt
效率低下：機(jī)械研磨拋光耗時(shí)長(zhǎng)達(dá)數(shù)小時(shí)/片，且刀具磨損嚴(yán)重（金剛石砂輪損耗率≥30%）； - je$R\7B<
面型精度限制：傳統(tǒng)法易引入亞表面損傷（SSD），導(dǎo)致表面粗糙度Ra>2nm，面型精度PV值難以穩(wěn)定控制于λ/10@632.8nm以下。
S S7 D1 j X^&4f 二、非古典法加工原理與技術(shù)突破 Ix%"4/z> w%!k?t,*] 6Vu}k K)
4IH0un 1. 技術(shù)定義 "1=.5:yG IDL^0:eg<. 非古典法（Non-conventional Machining）指通過能量束（離子/激光/等離子體）或化學(xué)作用，實(shí)現(xiàn)原子級(jí)材料去除，避免機(jī)械應(yīng)力損傷。 'npT+p$ V 1VPfa ^$T!@ +: 2. 核心技術(shù)方案 Q)7L ^ %m 0L!|E （1）反應(yīng)離子束刻蝕（RIBE） 3/#R9J# - ` :B
原理：利用Ar+/CF₄混合離子束轟擊藍(lán)寶石表面，通過物理濺射+化學(xué)反應(yīng)（生成揮發(fā)性AlF₃）同步去除材料。 - N23 +1
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