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【技術深析】藍寶石高精密非古典法加工：如何實現(xiàn)亞微米級面型精度與效率突破？

發(fā)布：和宸晶體科技 2025-02-04 11:58 閱讀：816
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一、行業(yè)痛點：傳統(tǒng)加工法的桎梏 ENr#3+m$;  
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藍寶石（α-Al₂O₃）因其超高硬度（莫氏9級）、抗熱沖擊性和光學透性，被廣泛用于激光窗口、紅外光學元件等領域。然而，傳統(tǒng)加工方法面臨兩大瓶頸： ){#INmsF  
  1. na~ FT[3 C  
    效率低下：機械研磨拋光耗時長達數(shù)小時/片，且刀具磨損嚴重（金剛石砂輪損耗率≥30%）；
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    面型精度限制：傳統(tǒng)法易引入亞表面損傷（SSD），導致表面粗糙度Ra>2nm，面型精度PV值難以穩(wěn)定控制于λ/10@632.8nm以下。
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二、非古典法加工原理與技術突破 F <6(Hw#>  
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1. 技術定義 KN657 |f  
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非古典法（Non-conventional Machining）指通過能量束（離子/激光/等離子體）或化學作用，實現(xiàn)原子級材料去除，避免機械應力損傷。 F@q9UlfB-  
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2. 核心技術方案 n&P~<2^M#  
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（1）反應離子束刻蝕（RIBE） {'wvb "b