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非接觸式加工能否成為藍寶石超精密制造的終極答案?——離子束VS ..
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非接觸式加工能否成為藍寶石超精密制造的終極答案?——離子束VS飛秒激光技術(shù)對比
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和宸晶體科技
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技術(shù)背景
y<n<uZ;
隨著極紫外光刻(EUV)、空間
激光
通信
等領(lǐng)域的
精度
需求逼近
物理
極限,傳統(tǒng)接觸式加工已難滿足需求。本文對比兩種前沿
工藝
:
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