一、背景回顧：SSD的隱蔽威脅 D:E_h  
bW^QH-t  
在前帖中，我們探討了機械加工導致的亞表面損傷（SSD）對藍寶石元件抗激光損傷閾值（LIDT）的嚴重影響。本帖將分享一種等離子體輔助拋光（Plasma Assisted Polishing, PAP）技術(shù)，通過實驗數(shù)據(jù)驗證其在SSD控制與加工效率間的平衡。 ,rI |+  
$0SZlq>En  
二、PAP技術(shù)原理與創(chuàng)新點 ~k0)+D}  
uW~,H}E  
1. 技術(shù)機理 (VAL.v*  
J_|}Xd)~t6  
能量耦合：利用射頻等離子體（Ar/O₂混合氣體）活化藍寶石表面原子，降低化學鍵能（Al-O鍵能從~511kJ/mol降至~300kJ/mol） 8VmN?"5v  
協(xié)同去除： a.IF%hP0xo  
a. 物理活化 → 表層Al₂O₃轉(zhuǎn)化為非晶態(tài)   !#I/be]  
b. 機械拋光 → 軟質(zhì)聚氨酯拋光盤以≤0.1N/cm²壓力去除非晶層   U_;J.{n  
=k=2~ j  
2. 對比優(yōu)勢 /VO@>Hoh  
'?gIcWM  
成本控制：設備改造成本僅為RIBE的1/5（約¥200萬 vs ¥1000萬） r)]CZ])  
精度-效率平衡：

工藝	SSD深度（μm）	表面粗糙度Ra（nm）	加工速率（mm³/min）
傳統(tǒng)研磨	3.2-5.1	1.8	0.35
PAP技術(shù)	≤0.3	0.6	0.28
RIBE	0	0.4	0.18

VQ<i$ I  
zlztF$Bo  
三、實戰(zhàn)案例：某激光雷達棱鏡加工 QeJ.o.m{  
_`{{39 F  
1. 客戶痛點 F6c[v|
3  
Z_ gVYa  
材料：Z切向藍寶石，尺寸10×10×5mm B;]5,`#!
 
原工藝：金剛石研磨→化學機械拋光（CMP） ;T
{/;  
問題：裝機后棱鏡在-40℃低溫測試中出現(xiàn)微裂紋，SSD層達4.7μm F]A~~P  
@1&;R  
2. PAP方案實施 j4xr1y3^  
;u};&sm  
工序調(diào)整： 6a?$=y  
粗磨（#2000金剛石砂輪） → PAP精修（30min） → 超聲清洗   Z) 科技| 临泽县| 宾川县| 上犹县| 五指山市| 珠海市| 巧家县| 罗田县| 宜兰县| 秀山| 鄄城县| 甘肃省| 临漳县| 兰坪| 宣威市| 锡林浩特市| 武陟县| 阿图什市| 池州市| 菏泽市| 洛宁县| 云梦县| 连南| 西峡县| 遂平县| 福鼎市| 溆浦县| 伊川县| 鞍山市| 克拉玛依市| 平安县| 永定县| 额尔古纳市| 祁阳县| 九江市| 华容县| 乌苏市| 景泰县| 平果县| 鄢陵县| 康定县|