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[原創(chuàng)]藍(lán)寶石亞表面損傷（SSD）控制實踐：一種基于等離子體輔助拋光的低成本解決方案 [復(fù)制鏈接]

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一、背景回顧：SSD的隱蔽威脅

在前帖中，我們探討了機(jī)械加工導(dǎo)致的亞表面損傷（SSD）對藍(lán)寶石元件抗激光損傷閾值（LIDT）的嚴(yán)重影響。本帖將分享一種等離子體輔助拋光（Plasma Assisted Polishing, PAP）技術(shù)，通過實驗數(shù)據(jù)驗證其在SSD控制與加工效率間的平衡。

二、PAP技術(shù)原理與創(chuàng)新點


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[原創(chuàng)]藍(lán)寶石亞表面損傷（SSD）控制實踐：一種基于等離子體輔助拋光的低成本解決方案 [復(fù)制鏈接]