一、背景回顧：SSD的隱蔽威脅 \WE/#To  
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在前帖中，我們探討了機(jī)械加工導(dǎo)致的亞表面損傷（SSD）對(duì)藍(lán)寶石元件抗激光損傷閾值（LIDT）的嚴(yán)重影響。本帖將分享一種等離子體輔助拋光（Plasma Assisted Polishing, PAP）技術(shù)，通過實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)驗(yàn)證其在SSD控制與加工效率間的平衡。 y1 a%f.F`  
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二、PAP技術(shù)原理與創(chuàng)新點(diǎn) L@MCB-@V  
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1. 技術(shù)機(jī)理 0^{Tq0Ri[  
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能量耦合：利用射頻等離子體（Ar/O₂混合氣體）活化藍(lán)寶石表面原子，降低化學(xué)鍵能（Al-O鍵能從~511kJ/mol降至~300kJ/mol） EW]DzL3  
協(xié)同去除： tic3a1  
a. 物理活化 → 表層Al₂O₃轉(zhuǎn)化為非晶態(tài)   UVXruH  
b. 機(jī)械拋光 → 軟質(zhì)聚氨酯拋光盤以≤0.1N/cm²壓力去除非晶層   FBNi (D  
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2. 對(duì)比優(yōu)勢(shì) -)J*(7F(6^  
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成本控制：設(shè)備改造成本僅為RIBE的1/5（約¥200萬(wàn) vs ¥1000萬(wàn)） tQj=m_ 庆阳市| 达州市| 盘山县| 江津市| 桂平市| 弋阳县| 开化县| 阳江市| 邳州市| 浪卡子县| 陆良县| 乌拉特后旗| 保亭| 宜章县| 镶黄旗| 玉溪市| 永宁县| 香河县| 新蔡县| 浮梁县| 定兴县| 灵丘县| 岑巩县| 乐山市| 三原县| 洪雅县| 丰宁| 新田县| 卓资县| 通化市| 阿拉善盟| 莒南县| 洮南市| 林芝县| 安吉县| 攀枝花市| 太和县| 涞源县| 嘉义县| 建宁县| 三都|