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時間地點 +`>E_+
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主辦單位：訊技光電科技（上海）有限公司 96
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蘇州黌論教育咨詢有限公司 b4bd^nrqV  
授課時間：2025年3月20（四）-21（五）AM 9:00-PM 16:00 Dj'?12Onu=  
授課地點：深圳市光明區(qū)鳳凰街道光明大道與科裕路交匯處尚智科園1棟1B座1503室 &}7R\co3  
課程講師：訊技光電工程師團隊成員 0GeL">v,:=  
課程費用：3600RMB(課程包含課程材料費、開票稅金、午餐費) VBF:
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課程簡介： XMT@<'fI  
光柵是現(xiàn)代光學系統(tǒng)中最為常用的一種衍射光學元件。隨著制作工藝的不斷提升，光柵的尺寸也越做越小。相應的，光柵分析必須使用基于矢量電磁場原理的方法。本課程使用多元化光學仿真平臺VirtualLab Fusion，介紹如何使用傅里葉模態(tài)法對光柵進行嚴格精確的仿真。課程涵蓋的光柵示例既有表面型光柵，也有全息型體光柵，例如傾斜光柵、閃耀光柵、用于光學超透鏡的Nanopillar結(jié)構(gòu)等。此外還會介紹超表面的設計和參數(shù)優(yōu)化和大角度超光柵仿真。 (xVx|:R[<H  
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課程大綱： &GJVFr~z  
第一天 JMo 
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1. 光柵結(jié)構(gòu)建模 c$L1aZo  
 在VirtualLab Fusion中搭建光學系統(tǒng) Ql l{;A  
 光柵的建模 <)T~_s  
2.  光柵仿真算法比較 $x]/|u/9  
 薄元近似法（Thin Element Approximation） -PGxG 8S  
 傅里葉模態(tài)法（Fourier Modal Method） !6RDq`  
3. 光柵嚴格分析實例 {=mGXd`x?l  
 閃耀光柵 GiEt;8  
 光柵與偏振 vt*  
 非傍軸衍射分束器分析 K%mR=u#%&  
4.  光柵設計與優(yōu)化 qGEp 6b H  
 傾斜光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化 BG?>)]6  
 公差分析 `XK\', }F  
 高衍射效率偏振無關(guān)光柵的優(yōu)化設計 II.:k.D`  
 利用VirtualLab Optimization Package實現(xiàn)光柵的優(yōu)化及后處理 cc_'Kv!  
Q&A 0H^*VUyW/  
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第二天
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1. 二維光柵結(jié)構(gòu)建模 udA@9a^;  
 體全息光柵（點光源和平行光之間干涉曝光） |m"Gr)Gm  
 利用全息光柵抑制高階衍射級次 r hucBm  
2. 二維光柵設計優(yōu)化 $L6R,%c  
 抗反射蛾眼結(jié)構(gòu)設計 RtHai[j  
 公差分析 NW`.7'aWT  
 納米柱的嚴格分析 h4|}BGO  
 共振光子晶格仿真 g
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3. 超表面微納結(jié)構(gòu) Bl8|`R^g  
 超表面分光光柵設計 FjtS  
 設計和分析超透鏡 :Hm'o}  
 亞波長周期結(jié)構(gòu)的波片實現(xiàn)偏振控制 ?2Z`xL9QT  
4. 包含光柵的光學系統(tǒng)仿真 4OgH+<G  
 光柵衍射測量 6?KUS}nRS  
 結(jié)構(gòu)光照明的顯微鏡系統(tǒng) F!)[H["_  
 微結(jié)構(gòu)晶圓檢測系統(tǒng) wS
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 泰伯效應 K$/"I0YyI  
Q&A