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時間地點 iGeuO[^  
主辦單位：訊技光電科技（上海）有限公司 zI>,A|yy  
蘇州黌論教育咨詢有限公司 i*vf(0G  
授課時間：2025年3月22（六）-23（日）AM 9:00-PM 16:00 v/Ei0}e6~  
授課地點：深圳市光明區(qū)鳳凰街道光明大道與科裕路交匯處尚智科園1棟1B座1503室 tdRnRoB  
課程講師：訊技光電工程師團隊成員 nIP*yb}5  
課程費用：3000RMB(課程包含課程材料費、開票稅金、午餐費) _E
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課程簡介 _q\w9gN  
縱觀歷史，光學為進行極其精確的測量提供了必要的手段，這是激發(fā)科學技術(shù)潛力的重要一環(huán)。對計量系統(tǒng)的分析不可避免地需要考慮物理光學效應（相干、偏振、干涉、衍射等），以產(chǎn)生現(xiàn)實、充分的結(jié)果。VirtualLab Fusion為這種分析提供了必要的工具，利用快速物理光學理論來促進快速仿真。 {wfe!f  
干涉系統(tǒng)被廣泛的應用于光學測量和光學檢測等領(lǐng)域。對這類系統(tǒng)工作原理的討論必須要結(jié)合物理光學的知識，如光的電磁場表示、光的波動性、光場的疊加等。 *j= whdw%J  
顯微系統(tǒng)也是組成光學測量的一個重要組成部分，課程內(nèi)容中也涵蓋了高NA系統(tǒng)，微觀與宏觀相結(jié)合的完整系統(tǒng)仿真如晶圓檢測系統(tǒng)，摩爾紋系統(tǒng)等。 4[]4KKO3Q2  
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課程大綱 ;,]Wtmu)7  
第一天 r(qU~re'  
1. 基本干涉原理 #$>m`r  
 干涉發(fā)生的條件 Qjh @oWT  
 楊氏雙縫特性 RnkrI~x  
2. 典型的干涉儀系統(tǒng)建模 ('p~h-9Vi  
 光學層析掃描在面型檢測中的應用 SfwAMNCe  
 基于渦旋光的干涉測量系統(tǒng) cz9T,  
 激光準直鏡的測量 ?g'? Ou  
 基礎(chǔ)Mirau干涉儀的仿真 N
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Q&A P\H$*6v(
 
第二天 )Wm:Ilq  
1. 干涉系統(tǒng)的應用 X8b= z9  
 光學系統(tǒng)部分相干性測試 &P{[22dQ  
 法布里腔干涉儀分辨光譜 D@>^_cTO24  
 時間相干性的測試（傅里葉變換光譜儀） 4jl
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 全息曝光干涉 `H6kC$^Ofx  
2. 多尺度系統(tǒng)建模仿真 E|d 8vt  
 衍射光柵干涉測量 J;g+  
 阿貝成像理論 qMe$Qr8  
 單色儀/光譜儀系統(tǒng)仿真 p9)'nU'\t  
 用于微結(jié)構(gòu)晶圓檢測的光學系統(tǒng) W`-AN}C#  
 不同輪廓亞波長光柵的成像 7.l[tKh  
 結(jié)構(gòu)光照明顯微鏡與STED顯微鏡 8FT
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 SPR表面等離子共振效應 y\&`A:^[ A  
3. 摩爾紋系統(tǒng) !7-dqw%l  
 摩爾紋檢測系統(tǒng) @
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