光柵是許多光學(xué)工程師的基本工具，因?yàn)樗鼈兊?span onclick="sendmsg('pw_ajax.php','action=relatetag&tagname=物理',this.id)" style="cursor:pointer;border-bottom: 1px solid #FA891B;" id="rlt_9">物理特性(將入射光衍射成一組離散的級次)使它們在許多不同的配置和許多不同的應(yīng)用中都是非常有吸引力的工具。然而，研究主要的興趣是給定光柵設(shè)置如何能夠容許例如制造過程產(chǎn)生的與設(shè)計(jì)參數(shù)的小偏差。請查看下面的文檔，找到我們根據(jù)其填充因子優(yōu)化傾斜光柵的示例。我們使用新發(fā)布的Parameter Variation Analyzer來執(zhí)行設(shè)置的容差分析，并計(jì)算一個(gè)評價(jià)函數(shù)，該函數(shù)計(jì)算了不同填充因子下工作級次的平均效率。 G?+]BIiL  
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但是光柵本身的參數(shù)并不是影響這類系統(tǒng)性能的唯一因素:已知大多數(shù)具有小特征尺寸的周期結(jié)構(gòu)對入射光的偏振狀態(tài)非常敏感。作為本周的第二個(gè)用例，我們選擇了一個(gè)場景，在這個(gè)場景中，我們分析了二元光柵的偏振依賴性,并對結(jié)構(gòu)進(jìn)行了優(yōu)化，使其在任意偏振角入射光下均能表現(xiàn)良好。 vXR27  
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這個(gè)用例演示了一個(gè)具有稍微變化的填充因子的傾斜光柵的魯棒性優(yōu)化。 x=Ez hq]X