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    [求助]光學(xué)薄膜實(shí)際膜厚測(cè)量 [復(fù)制鏈接]

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    離線(xiàn)兜兜吃葡萄
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 02-20
    回復(fù)本帖可獲得1枚光幣獎(jiǎng)勵(lì)!
    每人最多可獲獎(jiǎng)1次,獎(jiǎng)池剩余6枚光幣 (中獎(jiǎng)幾率50%)
    鍍的AR膜,想要測(cè)試薄膜的實(shí)際鍍膜厚度和實(shí)際的材料折射率;實(shí)際鍍膜厚度使用的臺(tái)階儀進(jìn)行測(cè)量的,但測(cè)量出來(lái)的曲線(xiàn)不理想,差距也很大,想問(wèn)下大家都是用的什么設(shè)備來(lái)測(cè)試的啊~ $[_5:@T%N  
    本來(lái)是準(zhǔn)備實(shí)際膜厚出來(lái)以后再用橢偏儀測(cè)試實(shí)際的材料折射率的,結(jié)果第一步就卡住了~ FoE}j   
     
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    離線(xiàn)ouyuu
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    只看該作者 1樓 發(fā)表于: 02-20
    鍍厚一點(diǎn)的單層然后測(cè),再和水晶膜厚比對(duì)一下。 EqHToD I3  
    {Mo[C%  
    實(shí)際上層和層之間是有過(guò)渡的, `4ga~Ch  
    層開(kāi)始和結(jié)束的時(shí)候因?yàn)樗俾什环(wěn)會(huì)也導(dǎo)致折射率變化。 5~>j98K  
    所以求個(gè)大概就可以了。 GQ85ykky  
    離線(xiàn)morningtech
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    只看該作者 2樓 發(fā)表于: 02-20
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    版主說(shuō)的對(duì),先做單層膜。 )(d~A?~  
    用光譜儀測(cè)光譜,然后用光學(xué)薄膜軟件模擬出折射率和厚度。大多數(shù)這樣做。 ]=3hH+1 a  
    離線(xiàn)兜兜吃葡萄
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    只看該作者 3樓 發(fā)表于: 02-20
    回 ouyuu 的帖子
    ouyuu:鍍厚一點(diǎn)的單層然后測(cè),再和水晶膜厚比對(duì)一下。
    實(shí)際上層和層之間是有過(guò)渡的, meD83,L~N  
    層開(kāi)始和結(jié)束的時(shí)候因?yàn)樗俾什环(wěn)會(huì)也導(dǎo)致折射率變化。 u\K`TWb%  
    所以求個(gè)大概就可以了。 C;Kq_/l  
    ....... (2025-02-20 11:31)  efyGjfoO  
    (>\4%(pnD  
    我是做的單層膜,多個(gè)樣,厚度從薄到厚(從幾十到數(shù)百納米),因?yàn)槲覔?dān)心隨厚度的加厚差異值是不是呈線(xiàn)性關(guān)系; 'Urx83  
    所以不用考慮線(xiàn)性非線(xiàn)性影響,鍍單層較厚的膜做比較對(duì)比就可以了是嗎
    離線(xiàn)兜兜吃葡萄
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    只看該作者 4樓 發(fā)表于: 02-20
    回 morningtech 的帖子
    morningtech:版主說(shuō)的對(duì),先做單層膜。 Mgux (5`;  
    用光譜儀測(cè)光譜,然后用光學(xué)薄膜軟件模擬出折射率和厚度。大多數(shù)這樣做。 p v*f]Yzx  
     (2025-02-20 13:14)  i7O8f^|  
    NHD`c)Q  
    我的是AR膜,單層膜的話(huà)一般鍍多厚呢?還是都可以不影響,如果是光譜儀測(cè)光譜的話(huà)(用分光光度計(jì)?)
    離線(xiàn)morningtech
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    只看該作者 5樓 發(fā)表于: 02-20
    幾百nm.  分光光度計(jì)
    在線(xiàn)lijinxia
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    白光干涉儀
    在線(xiàn)lijinxia
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    只看該作者 7樓 發(fā)表于: 02-21
    感興趣的話(huà),可以留言給我。我們這邊有個(gè)老師有這款產(chǎn)品,性?xún)r(jià)比很高
    離線(xiàn)ouyuu
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    只看該作者 8樓 發(fā)表于: 02-26
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    兜兜吃葡萄:我的是AR膜,單層膜的話(huà)一般鍍多厚呢?還是都可以不影響,如果是光譜儀測(cè)光譜的話(huà)(用分光光度計(jì)?) (2025-02-20 13:57)  y-^m  
    Kz2s{y~?  
    如果想精度高一點(diǎn)的話(huà),一般分光儀測(cè)量范圍內(nèi)要有2-3個(gè)PEAK。 FR? \H"'x  
    這樣用軟件模擬出來(lái)會(huì)好一點(diǎn)。 }J|Pd3Q Sf  
    幾百個(gè)納米是需要的。像二氧化硅可能還要多鍍一點(diǎn)。
    離線(xiàn)ouyuu
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    只看該作者 9樓 發(fā)表于: 02-26
    AR膜因?yàn)楸颖容^多,膜與膜之間過(guò)渡的折射率不好仿真,所以軟件只能模擬個(gè)大概,余下的精修要靠經(jīng)驗(yàn)。設(shè)備的機(jī)差會(huì)很大。
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