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關(guān)鍵詞：晶圓工序 WLO

WLO(晶圓級(jí)光學(xué))的各種工序。
首先，通過(guò)透鏡成型工藝(圖1)，在上下的模具(微透鏡陣列的模具)之間設(shè)置樹(shù)脂。
接著，通過(guò)固化工藝(圖2)，使樹(shù)脂通過(guò)熱固化或UV固化而固化。


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