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摘要 ju{%'D!d9 Cd~LsdKE5 直接設(shè)計非近軸衍射分束器仍然是一個挑戰(zhàn)。由于衍射角相當(dāng)大,元件的特征尺寸與工作波長在相同的數(shù)量級上。因此,設(shè)計過程超出了近軸建模方法。因此,在這個例子中,迭代傅里葉變換算法(IFTA)和薄元素近似(TEA)用于衍射元素的初始設(shè)計結(jié)構(gòu),和傅里葉模態(tài)方法(FMM)隨后應(yīng)用于嚴(yán)格的性能評估。 h[U7!aM *TnzkNN_,
{\We72! z}APR@?`n8 設(shè)計任務(wù) ,/o(|sks H-&3} 使用近軸近似的衍射1:7×7分束器的初步設(shè)計通過嚴(yán)格分析,進一步優(yōu)化零階均勻性和影響 b(T@~P/ @l>Xnqx)
x;U|3{Io jH0Bo; 光柵級次分析模塊設(shè)置 1X:&*a"5 &va*IR ~I$}# 使用常規(guī)的分束器會話2編輯器,VirtualLabFusion提供了一個指導(dǎo)工具,允許用戶一步一步地指定所有影響分束器設(shè)計的參數(shù)。 `p|[rS> #]zhZW4
#O|lfl>} >l2w::l% |cu`f{E2] 1. 通過應(yīng)用設(shè)計帶中的結(jié)構(gòu)設(shè)計,所得到的傳輸函數(shù)可以轉(zhuǎn)換為結(jié)構(gòu)輪廓。 AN10U;p/O 2. 對于此轉(zhuǎn)換,使用了薄元近似(TEA)。因此,所得到的結(jié)構(gòu)與初始相位函數(shù)成正比。 #:
hVF/ 3. VirtualLab Fusion提供計算出的形式已經(jīng)預(yù)設(shè)在光路中。 Tk+DPp^ 4. 要在不同的模擬場景中使用這種結(jié)構(gòu),需要從組件內(nèi)部獲取實際的采樣表面或指定的堆棧。 on50+)uN BTs0o&}e
okDJ(AIV+ 衍射分束器表面 JN^bo(kb cHEz{'1m
Z3`2-r_= \3j)>u,r 為了進一步評估,使用了通用光柵光學(xué)設(shè)置,其中加載之前保存的堆棧。光柵光學(xué)裝置提供了獨特的工具、組件和分析儀,以進一步研究給定周期結(jié)構(gòu)的特性和性能。 6+ANAk )Pa*+ew7
Lh!z>IWjOG ^srs$
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\_>?V5( 9l l|JeNi 衍射光束求解器-薄元素近似(TEA) u_Zm1*'?B dJE`9$jN
r#I>_Utsy ^2JPyyZa 一般光柵組件提供了薄元近似(TEA)和傅里葉模態(tài)方法(FMM)作為解決模型給定的光柵。 *[
#*n n 薄元近似通常產(chǎn)生更快的結(jié)果,當(dāng)結(jié)構(gòu)小于波長的5倍,可能有精度問題,。 _#(s2.h~J 傅里葉模態(tài)方法允許一個嚴(yán)格的模擬,但需要更高的數(shù)值計算。
{9;eH'e q\_DJ)qpn
@#CF".fuN> z5ZKks 光柵級次和可編程光柵分析儀 eaxfn]gV bQV("~#
*I/A,#4r 光柵級次分析儀提供了所有衍射階的效率的概述,作為許多可能的輸出。 *#GDi'0 PvuAg(? #nbn K 使用可編程光柵分析儀,用戶可以指定應(yīng)計算的值。例如:總效率、均勻性誤差、0階效率 ' 3VqkQ4 ;%!tf{Si Vku#;:yUb^ 設(shè)計與評估結(jié)果 "B?R|
Xg 相位功能設(shè)計 8E
9{
Gf 結(jié)構(gòu)設(shè)計 #~*XDWvIS~ TEA評價 1W0.Ufl) FMM評估 }
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