哪位能提供一點(diǎn)思路嗎？變形量可能很小，微米級的。 San=E@3}v!  
要在200度左右的溫度看器件的變形情況。用光學(xué)方法是否能實(shí)現(xiàn)？據(jù)說有用干涉測量儀測的，但是不知道人家怎么做的。。。

不太容易，雖說干涉儀可以測翹曲，可你的器件的溫度太高，空氣擾動(dòng)太厲害，很難得到穩(wěn)定條紋。