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離線不是大人物

實習(xí)生

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2007-06-15

紫外激光切割Si片的實驗研究，樓祺洪章琳葉震寰董景星魏運榮

中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所

摘要：報道了用193nm準分子激光切割硅片的實驗結(jié)果。采用柱透鏡光學(xué)系統(tǒng)及“熱劈裂法”獲得小于15μm的切縫及小于5μm的切面不平整度。

關(guān)鍵詞：紫外激光；激光切割；硅片

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離線Myoptics

工程師

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2007-06-17

多謝啦，不錯的論文。

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離線6172007

助理工程師

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2007-06-17

謝謝啦，下了。

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離線518918

助理工程師

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2007-06-17

收下了，多謝。

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離線wayguo

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只看該作者 4樓發(fā)表于: 2009-08-05

多謝啦，不錯的論文。

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離線111

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只看該作者 5樓發(fā)表于: 2009-08-13

收下了，多謝。

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離線xieyifeng

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只看該作者 6樓發(fā)表于: 2010-05-04

fghfghfhfghfh

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離線lw890720

實習(xí)生

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只看該作者 7樓發(fā)表于: 2010-07-02

多謝樓主

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離線khwonthy

實習(xí)生

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只看該作者 8樓發(fā)表于: 2010-07-18

謝謝樓主。想學(xué)習(xí)一下。

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離線唐亮

實習(xí)生

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只看該作者 9樓發(fā)表于: 2010-07-20

多謝樓主

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