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摘要 ={@ @`yP^$
 ]m#MwN$ F-Theta透鏡通常用于基于掃描式的激光材料加工系統(tǒng)。使用這種透鏡，聚焦光斑沿目標(biāo)平面的位移與透鏡焦距和掃描角度的乘積成正比。然而，不存在完美的F-Theta系統(tǒng)，因此在任何給定的系統(tǒng)中，偏離理想行為的偏差都是可以預(yù)期的。借助快速物理光學(xué)建模和設(shè)計軟件VirtualLab Fusion中的掃描源，通過測量不同角度下實際光斑位置與期望值之間的偏差，分析了給定F-Theta透鏡的性能。 /1#Q=T
||ZufFO 建模任務(wù) O rJlHMz
 lT!$\E$1
系統(tǒng)構(gòu)建塊-掃描源 FK >8kC  )u/
^aK53^ How to Set Up a Scanning Source `Mp7 }) L{%a4 Ip 系統(tǒng)構(gòu)建塊-透鏡系統(tǒng)組件 ,W8Iab i^  y{I[ }$k 系統(tǒng)構(gòu)建塊-參數(shù)耦合 _JIUds5  ^*ez j1
Coupling of Parameters in VirtualLab Fusion fy>An d*
15T[J%7f 系統(tǒng)構(gòu)建塊-失真分析儀 EQOP?>mWx!
R{KIkv 實際焦點位置與參考焦點位置之間的偏差表明了F-Theta透鏡的性能。這些信息可以使用Distortion Analyzer計算。 nC.2./OwMf
 +y4AUU:Q 雖然實際焦點點位置將由模擬計算，但參考焦點點位置可以指定為角度本身或其切線上的線性。 F@'rP++4 #iU8hUbo
通用探測器和探測器附加組件 bd
P,Zqd !5SQN5K
 IgR"eu U
 Y{2d4VoW6 Universal Detector允許用戶評估探測器接收到的光場，并通過使用所謂的附加組件計算各種物理量。附加組件可以相互提供信息(即，它們可以嵌套);在我們的例子中，我們使用場數(shù)據(jù)來計算輻射能密度，然后使用該數(shù)據(jù)上的另一個附加項來獲得場大小(FWHM)。更多資料見: 5h=TV ME@6.* Universal Detector OC>_=i$ ' r{2].31' 總結(jié)-組件… $EGRaps{j>
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}v$A03
 QT= ,En 系統(tǒng)觀感 3) c
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ssyd8LC# 通過系統(tǒng):三維可視化，不同F(xiàn)oV模式可以通過顏色編碼來區(qū)分。此外，可以檢查場的軌跡，以便將探測器放置在正確的位置。 ]F* a PV
+ =~%S)9F
 K _+;"G 性能評估-點位偏差 i$^B-
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 SM /ykk 性能評估-光斑直徑測量 fxoi<!|iGY dbuJ~ ?D,  MjXE|3&
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此外，該結(jié)果可用于更深入地分析由F-theta系統(tǒng)產(chǎn)生的斑點。例如，對光斑大小的檢查顯示，對于更高的輸入角度，單個焦點變得越來越橢圓形。 <k\H`P
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VirtualLab Fusion技術(shù) oAZF3h]po
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