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F-Theta掃描透鏡的性能評(píng)估
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Q:xI} ]FM
HN&vk/[
F-Theta透鏡通常用于基于掃描式的
激光
材料
加工
系統(tǒng)
。使用這種
透鏡
,聚焦光斑沿目標(biāo)平面的位移與透鏡
焦距
和掃描角度的乘積成正比。然而,不存在完美的F-Theta系統(tǒng),因此在任何給定的系統(tǒng)中,偏離理想行為的偏差都是可以預(yù)期的。借助快速物理
光學(xué)
建模和設(shè)計(jì)軟件VirtualLab Fusion中的掃描源,通過測量不同角度下實(shí)際光斑位置與期望值之間的偏差,分析了給定F-Theta透鏡的性能。
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