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這是一個一維孤立線光柵的簡單案例。設(shè)置與周期線光柵的案例相同,但代替周期性排列的線,現(xiàn)在使用單線。因此,二維計算域不再采用水平方向上的周期性邊界條件,而是采用水平和垂直方向上的透明邊界。 4+uAd" 9EH%[wfv PVvG 光柵被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。下圖顯示了當(dāng)波長為193nm時,平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強(qiáng)度
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