這是一個一維孤立線光柵的簡單案例。設(shè)置與周期線光柵的案例相同,但代替周期性排列的線,現(xiàn)在使用單線。因此,二維計算域不再采用水平方向上的周期性邊界條件,而是采用水平和垂直方向上的透明邊界。 {?Nm"#
zrqI^i"c -b
iE 光柵被斜入射S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。下圖顯示了當(dāng)波長為193nm時,平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強度 g^Hf^%3xP h
(q,T$7W S偏振光照明的近場強度
%*szB$[3 
P偏振光照明的近場強度 ilde<!?
后處理傅里葉變換計算散射場在上半空間的傅里葉變換。 OPzudO
&TY74w* 在實驗中,遠場通常由成像的光學(xué)裝置來收集。后處理光學(xué)成像允許描述一個通用光學(xué)成像系統(tǒng)。我們通過一個沒有像差的簡單2X放大工具來演示這一點。 5'NNwc\
'YB[4Q /0 PostProcess { 2F>Y{3& OpticalImaging { HHZw-/s,% InputFileName = "project_results/transmitted_fourier_transform.jcm" 8HFCmY# OutputFileName = "project_results/image_fourier_transform.jcm" tewp-MKA OpticalSystem { zBl L98 SpotMagnification = 2.0 pbEWnx_ } :o'|%JE } Ea&NJ]& g
6`7tTn?n 輸出文件fourier_transform_image.jcm包含經(jīng)過光學(xué)系統(tǒng)后的場的傅里葉變換。可以使用笛卡爾輸出后處理來計算相干圖像。下圖顯示了不同z方向切片的圖像(圖像平面沿z方向放置),用于S偏振照明。 %VFoK-a YHO}z}f[! 線光柵通過光學(xué)系統(tǒng)后的相干圖像(s偏振入射平面波)
rH!sImz, QmjE\TcK/ 
線光柵通過光學(xué)系統(tǒng)后的相干圖像(p偏振入射平面波)