這是一維周期線柵的簡單案例。周期單元包含通過
光柵的二維截面。在這種情況下，線柵的橫截面呈梯形，它位于襯底上，被背景
材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(線柵)、
玻璃(基底)和空氣(背景材料)。
#SdaTMLFf 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。下圖顯示了當(dāng)
波長為193nm時，平面波從襯底側(cè)垂直入射到
結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強度。
S偏振光照明的近場強度
P偏振光照明的近場強度 U;31}'b
5^xt/vYa) 后處理傅里葉變換計算透射
衍射級次的振幅。
+%yh@X6 kU /?#s 參數(shù)掃描 L81"W`? g^idS:GtX5 Matlab®腳本data_analysis/run_scan_illumination.m提供對入射角的掃描。它產(chǎn)生了以下圖表，顯示了反射和透射衍射級次的強度：
b7n~z1$ H Ow hl 在腳本data_analysis/run_scan_width.m中,光照角度固定時，線柵的寬度從150nm增至250nm。這將產(chǎn)生以下線柵寬度依賴關(guān)系：
U{x'@/Ld
