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[技術(shù)]JCMsuite應(yīng)用：一維周期線柵 [復(fù)制鏈接]

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這是一維周期線柵的簡(jiǎn)單案例。周期單元包含通過光柵的二維截面。在這種情況下，線柵的橫截面呈梯形，它位于襯底上，被背景材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(線柵)、玻璃(基底)和空氣(背景材料)。

光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計(jì)算近場(chǎng)分布。下圖顯示了當(dāng)波長(zhǎng)為193nm時(shí)，平面波從襯底側(cè)垂直入射到結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場(chǎng)強(qiáng)度。

S偏振光照明的近場(chǎng)強(qiáng)度

P偏振光照明的近場(chǎng)強(qiáng)度

后處理傅里葉變換計(jì)算透射衍射級(jí)次的振幅。

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