這是一維周期線柵的簡單案例。周期單元包含通過
光柵的二維截面。在這種情況下，線柵的橫截面呈梯形，它位于襯底上，被背景
材料包圍。示例中的材料選擇為鉻(線柵)、
玻璃(基底)和空氣(背景材料)。
Uka 4iya 光柵被S和P偏振平面波照亮。JCMsuite計算近場分布。下圖顯示了當(dāng)
波長為193nm時，平面波從襯底側(cè)垂直入射到
結(jié)構(gòu)內(nèi)的近場強(qiáng)度。
S偏振光照明的近場強(qiáng)度
P偏振光照明的近場強(qiáng)度 #@ G2n@Hj
[Pay<]c6g 后處理傅里葉變換計算透射
衍射級次的振幅。
[}D) 73h` 23PSv8;EM 參數(shù)掃描 f
