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摘要
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近幾十年來,CMOS傳感器的像素尺寸已經(jīng)從~10µm縮小到~2µm,甚至更小。通過減小像素尺寸,可以獲得更高的空間
分辨率
。同時,這也給每個像素上微
透鏡
的功能帶來了問題。在本例中,我們研究了像素尺寸等于或低于2µm的CMOS傳感器的性能。采用嚴(yán)格的FMM/RCWA進(jìn)行
仿真
,以驗證微透鏡的有效性。
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