摘要：為了研究掃描近場光學(xué)顯微鏡(SNOM) 光纖探針的光學(xué)特性，采用基于場追跡方法的光學(xué)軟件VirtualLab Fusion 進行了仿真實驗，取得了SNOM光學(xué)探針尖端外部光場的分布情況。結(jié)果表明，沿z軸方向，不同截面上的光場分布都會呈現(xiàn)小孔衍射的圖案，其中心斑點中心強度隨著z值的變大而呈近似指數(shù)函數(shù)衰減，到z=100nm位置處幾乎衰減為0;中心斑點輪廓線的半峰全寬隨著z值的變大而呈現(xiàn)先不變后增大的趨勢，其拐點處于z=20nm位置處，此時對應(yīng)的中心強度值為7.2V/m²，這個強度值按指數(shù)函數(shù)計算正好處于z=0nm位置處強度的e^-2。結(jié)果清晰顯示了SNOM光學(xué)探針的光學(xué)特性，證實SNOM探針工作時需要與樣品表面保持在10nm左右的必要性。

關(guān)鍵詞： 成像系統(tǒng); 掃描近場光學(xué)顯微鏡; 場追跡; VirutalLab Fusion; 光纖探針